真空抽気機群の極限真空度直接影響因子は主に以下の方面を含む：

システムエアリーク

空気漏れは限界真空度を制限する最も重要な要素である。外部からのガス漏れはフランジ接続部の密封不良、溶接亀裂、バルブの故障などによく見られ、内部からのガス漏れは冷却水管路の破裂によって真空チャンバに水が浸入する可能性がある。空気漏れはシステムの圧力変動を引き起こし、極限真空度を低下させる。

真空ポンプ性能

ポンプのタイプ（例えば、ロータポンプ、ルーツポンプ、分子ポンプ）と動作状態は、ポンプ速度と限界真空度に直接影響する。高温または不純物汚染はポンプの抽気速度と限界真空度を低下させ、定期的にシールを交換し、ポンプ本体を維持する必要がある。

冷却システムの構成

冷却水の温度と流量は蒸気凝縮効果に直接影響する。冷却水出口温度が高くなるほど、真空度が低くなり、真空度を高めるために出口温度を下げる（例えば、水量を増やす、または入口水温を下げる）必要があります。

容器在来ガス

容器内の残留ガス成分は抽気ポンプの選択性と密接に関連している。容器内の既存ガス成分とポンプの抽気速度が一致しないと、限界真空度を制限する可能性がある。

配管と設備の抵抗

配管レイアウトが複雑であるか、泡除去装置の抵抗が大きすぎると、真空度の安定性が低下する。配管設計の簡素化と設備構成の最適化により、極限真空度を向上させることができる。 ‌