ナノスケールのチップ製造の世界では、人間の髪の毛の糸より数百倍も細い粒子状物質が、回路全体の短絡を引き起こし、巨大な財務損失をもたらすのに十分である。そのため、電子に対して特性および超純水 純度の追求は、半導体工場の中核的な任務である。生命線プロセスにおける清浄を守るための重要な障壁。

粒子状物質はチップの良性に影響する

ガス中の粒子状物質：ウェハ表面に欠陥が発生し、リソグラフィ、エッチング、薄膜堆積の精度に影響を与える。

超純水中の粒子状物質：洗浄段階で粒子が残留すると、ウエハに直接付着し、線路の短絡や開放を引き起こす。

半導体製造は不純物制御に原子レベルを達成した。ハイプ折りたたみろ過膜は次のような役割を果たしています「浄化衛士」の役割：

半導体に折り畳みフィルタ膜

1. 電子ガスろ過：源から汚染を根絶する

半導体製造には、高純度で高価値な100種類以上の特殊ガスを使用する必要があります。ハイプ高性能折り畳みフィルタ膜はガスボンベ出口、バルブ、プロセスツール入口などのポイントに設置される：

Ø粒子状物質の効率的な除去：効果的にろ過することができる0.01ミクロン以下のサイズの粒子。

Ø低析出、低ガス放出：半導体級材料を採用し、自身が高純度ガス中に金属イオンや有機汚染物を放出しないことを確保し、二次汚染を回避する。

Ø腐食性、燃えやすく爆発しやすい特殊ガスに耐え、生産の安全を保障することができる。

2. 超純水システム終端研磨ろ過

逆浸透を経て、電子データ交換紫外線殺菌後、超純水は技術設備に入る前に、「精彫細琢」を経なければならない。高いフラックスこのプロセスでは、折りたたみフィルタコアが重要です。

Ø水中に残ったコロイド、シリコン粒子、細菌死骸を深く除去する。

Ø極めて低い溶出物：フィルターは厳格な超純水洗浄と包装を経て、水にイオンや有機物を放出しないことを確保し、水質の安定を保障する18.2メートルΩ.cm。

Ø高スループット設計：チップ工場の連続、大量の水需要を満たす。