クリーンクリーンルームには主にそれらの浄化設備が設置されている

*、クリーンクリーンルームの給風システムは設置し、新風ろ過箱、クリーンエアコン（クリーンエアコンは初期効果/中効果/3つのろ過段に分ける）の末端に送風口がある。必要に応じて浄化過給箱も設置されている。

第二に、クリーンクリーンルームの換気システムを設置し、換気口、ろ過初期効果器、中効果換気箱を設置しなければならない。

第三に、クリーンクリーンルームに入る前にバッファエリアに入り、バッファエリアのドアに電子インターロックを取り付け、更衣所にクリーンロッカー、空気清浄機を置く。

第四に、人と荷物がクリーンルームに入るには、風淋室、貨物淋室、伝達窓を通過しなければならない。

第五に、クリーンクリーンルーム内の局所的に10-1000段に達する必要がある場所に垂直層流テーブル、層流カバー（FFU）、クリーンハウス（可搬式クリーンルーム）、自浄器を設置する。クリーンルームクリーン度測定用、レーザダスト粒子カウンタ