ガラスウエハ透光率検出手段、ウエハ検出中心

ガラスウエハは半導体と表示装置のコア基材であり、その検出は下流製品の精度と性能を直接決定する。ミクロン級の精度検査を通じて、制御ウエハの平坦度、透光性などの重要な指標を正確に把握し、リソグラフィ、パッケージなどの工程に精密加工需要を適応させることを確保し、チップ、OLEDスクリーンなどの製品に信頼性のある基材保障を提供し、電子情報産業の品質管理制御の核となる一環である。

【測定基準】

GB/T 30458液晶表示装置用ガラス基板

GB/T 2680建築ガラスの可視光透過比、太陽光直接透過比及び太陽光総透過比測定方法

SJ/T 11464半導体装置用ガラス材料

ISO 12215電子ガラスサイズ及び表面品質試験方法

GB/T 7962無色光学ガラス試験方法

【測定項目】

寸法精度、厚さ偏差、平坦度、表面粗さ、透光率、屈折率、ヘイズ、応力分布、欠陥検出、化学安定性、熱膨張係数、耐衝撃性、硬度、密度、耐酸性、耐アルカリ性

【検出範囲】

応用分野：半導体パッケージガラスウエハ、表示パネルガラスウエハ、光学デバイスガラスウエハ、センサガラスウエハ材質タイプ：石英ガラスウエハ、ホウ素シリコンガラスウエハ、アルミニウムシリコンガラスウエハ、ナトリウムカルシウムガラスウエハサイズ仕様：4インチガラスウエハ、6インチガラスウエハ、8インチガラスウエハ、12インチガラスウエハ

【機器設備】

現在、X線蛍光分光器（XRF）、アッベ屈折器、閉口閃光点自動測定器、赤外分光器（IR）、火炎光度計、高速溶媒抽出器、誘導結合プラズマ分光器（ICP）、誘導結合プラズマ質量分析器（ICP−MS）、頂空気クロマトグラフィー質量分析器（HS−GCMS）、トラップ頂空間−気質結合器（PT−GCMS）、恒温恒温恒湿システム、イオンクロマトグラフィー（IC）、気相クロマトグラフィー（GC）、気相クロマトグラフィー質量分析器（GCMS）、ガスクロマトグラフィー質量分析併用器（熱分解）GC-MS（PY）、熱脱着-GCMS、オシロスコープ分極計など、天秤、マイクロ波分解器、顕微赤外分光器（FT-IR）、顕微鏡、回転蒸発器、液体クロマトグラフィー直列質量分析併用器（LC-MS）、紫外可視分光光度計（UV）、液体クロマトグラフィー、原子蛍光（AFS）、蛍光白色度計、原子吸収分光（AAS）。

【資格証明書】

検査・測定機関資格認定証明書（CMA資格証明書）、中国合格評定国家認可委員会実験室認可証明書（CNAS資格証明書）、農産物品質安全検査機関審査合格証明書（CATL資格証明書）、品質管理システム、環境管理システム、職業健康安全管理システム認証証明書などの資格証明書を獲得した。直属機関の安徽清析司法鑑定所が発行した司法鑑定許可証を承認し、司法鑑定科学研究院の34項目の能力検証を通過した。

【サービス顧客】

当院は毎年20000件以上の報告書を発行し、累計45,000社以上の顧客にサービスを提供しており、顧客タイプには会社単位、大学及び科学研究院所、500強企業、多国籍企業などが含まれている。

ガラスウエハ透光率検出手段、ウエハ検出中心