水素−フッ化水素酸オンライン濃度検出器の精度が高いSEMIG 5級

製品紹介

半導体、マイクロエレクトロニクスなどのハイテク分野では、電子級水素−フッ素酸（HF）が洗浄とエッチング機能を発揮する。

製品の品質を保障する上で、濃度制御は洗浄とエッチング効果を確保する基礎であり、過度や不足を回避し、製品の表面品質と性能を確保する。

安定生産プロセスの面では、HF濃度の変動はプロセスの不安定さを招き、生産効率と良品率に影響を与え、安定した濃度制御は効率的な生産を実現する鍵である。

生産コストを下げる面では、HF使用量を制御し、浪費を減らし、廃液処理コストを下げ、経済効果化を実現する。

安全性の向上では、HF濃度の把握は潜在的な安全リスクの評価に役立ち、操作者の安全を保障するための適切な防護措置をとることができる。

環境保護の要求を満たす面では、HFの使用量を制御し、排出を減らし、企業が日増しに厳格になる環境保護法規を満たすのに役立つ。

電子級水素−フッ素酸の応用分野は広く、半導体製造をカバーし、シリコンウエハ洗浄、酸化層エッチング、金属不純物除去などの重要な技術に用いられる、マイクロエレクトロニクス製造は、集積回路製造、液晶ディスプレイ製造、太陽電池製造などの一環に応用される。及び実験室研究は、化学分析、材料研究などの面で役割を果たす。

しかし、伝統的な水素−フッ酸濃度測定方法は人工サンプリング分析に依存することが多く、この方法には多くの欠点が存在する：時間と労力がかかり、人工サンプリング、検査、分析結果を待つ必要があり、効率が低下する、遅延性、分析結果はHF濃度変化をリアルタイムに反映できず、適時にプロセスを調整できない、誤差が大きく、人工操作は誤差を導入しやすく、検出精度に影響する、さらに重要なのは、安全性の問題があり、高腐食性のHFに直接接触することは高い安全リスクがあることである。そのため、より効率的で安全な水素−フッ酸濃度検出方法を求めることが必要である。

水素−フッ酸オンライン濃度測定器、製品には高精度、SEMIG 5級、耐高温、長寿命光源、恒温検出器などの特徴があり、測定範囲は0 ~ 55%である。センサは超純PTFE/PFA流通池構造を用いて大面積サファイア光学プリズムを結合し、長期技術の蓄積と難関攻略研究開発を通じて、半導体業界の湿式電子化学品濃度のオンライン測定制御類製品の「首締め」問題を解決した。

製品の優位性

1. 試料を前処理する必要はなく、試薬消耗品は必要なく、測定過程全体で秒単位である。

2. 10万時間に及ぶ超長寿命光源により、使用コストとメンテナンスコストを削減します。

3. 一部の品目は色、濁度の影響を受けません。

4. 一部の材料は気泡、粒子状物質の影響を受けない。

5. 一部の材料は検出対象の圧力変化、流量突然変異、乱流現象の影響を受けない。

6. 計器は検査中に機械動作がなく、長期使用の安定を確保する。

7. プリズムの全平面構造を検出し、光学窓の汚れを避ける。

8. 工場出荷時の校正と自動温度補償は、直接使用されます。

9. 上位機通信をサポートし、4-20 mA&RS 485信号出力。

10. アラームや制御などのスイッチング量信号出力をサポートします。

11. データモデリング機能をサポートし、データモデルをカスタマイズすることができる。

技術パラメータ