水素−フッ酸濃度分析装置のオンライン自動検出耐久性メンテナンスフリー

製品紹介

水素−フッ素酸濃度分析器製品は高精度、SEMIG 5級、耐高温、長寿命光源、恒温検出器などの特徴を持ち、測定範囲は0-55%である。センサは超純PTFE/PFA流通池構造を用いて大面積サファイア光学プリズムを結合し、長期技術の蓄積と難関攻略研究開発を通じて、半導体業界の湿式電子化学品濃度のオンライン測定制御類製品の「首締め」問題を解決した。

水素−フッ素酸濃度分析器、サンプルの前処理が不要で、試薬の消耗品が不要で、秒量級の迅速な測定は、企業にリアルタイムで生産動態を把握させる。検査中に機械動作がなく、長期使用の安定を確保する。計器は10万時間に及ぶ超長寿命光源を採用し、検査過程に機械的な動作がなく、長期的な安定運転を確保し、メンテナンスコストを削減する。全平面構造の検出プリズムは、汚れを避ける。工場出荷時の較正と自動温度補償により、煩雑な設定を必要とせずに直接使用できます。上位機通信、4-20 mA&RS 485信号出力、警報及び制御などのスイッチング量信号出力をサポートし、データモデリング機能をサポートし、データモデルをカスタマイズすることができる。

応用分野

水素−フッ酸濃度分析器は主に水素−フッ酸濃度の監視と制御が必要な分野に応用され、以下を含む：

1.半導体製造：

• エッチングプロセス：半導体製造過程において、水素−フッ素酸はエッチング剤として広く用いられ、酸化ケイ素、窒化ケイ素などの材料を除去するために用いられる。水素−フッ酸濃度の制御はエッチング速度の制御、エッチング均一性の確保に重要である。

• 洗浄プロセス：水素−フッ素酸はウエハ表面の不純物及び残留物の洗浄にも用いられる。濃度制御は洗浄効果とウエハ品質にも影響を与える。

• ドーピングプロセス：いくつかのドーピングプロセスでは、水素−フッ素酸がウェハ表面の前処理に使用される。

2.太陽電池製造：

• シリコンシート表面処理：水素−フッ素酸を用いてシリコンシート表面を洗浄し、表面酸化層と金属不純物を除去し、太陽電池の光電変換効率を高める。

• パイル化処理：いくつかの太陽電池生産プロセスは水素−フッ素酸を用いてシリコンシートの表面パイル化を行い、光吸収率を増加させる。

3.液晶ディスプレイ（LCD）とOLEDの製造：

• ガラス基板洗浄：LCDとOLED製造過程において、水素−フッ素酸はガラス基板の洗浄に用いられ、表面汚染物を除去し、表示品質を向上させる。

• 薄膜エッチング：一部の薄膜プロセスでは水素−フッ素酸を用いて選択的エッチングを行う。

4.化学分析実験室：

• 高純度試薬の調製：分析化学実験における重要な試薬として、高純度水素−フッ酸溶液の調製に用いられる。

• 試料前処理：後の化学分析のために、いくつかの難溶性試料を溶解するために水素−フッ素酸を用いた。

5.電子化学品の生産：

• 品質管理：電子級水素-フッ化水素酸の生産過程において、リアルタイムで製品濃度を監視測定し、製品が品質基準に合致することを確保する必要がある。

• プロセス最適化：濃度データを測定し、生産プロセスを最適化し、製品の純度と収率を高める。

6.研究機関：

• 材料研究：水素−フッ酸の各種材料に対する腐食挙動を研究し、新材料の開発に参考を提供するために用いられる。

• 化学反応研究：水素−フッ素酸が関与する様々な化学反応、例えばフッ素化反応を研究するために使用される。

技術パラメータ