半導体廃水処理装置

半導体廃水処理装置コア処理プロセスと設備：

リン含有フッ素含有廃水の処理には通常「前処理」が用いられる+かがくちんでん+デプス処理（オプション）+汚泥処理」のプロセス。以下は各段階の重要な設備である：

1. 前処理ユニット：

調整プール：

設備：鉄筋コンクリート池体または鋼製缶体、攪拌機（潜水攪拌機または側入式攪拌機）、液位計、pH計（オプション）。

作用：水質水量を均質化し、衝撃負荷を緩衝し、後続処理に安定条件を提供する。

こうし/フィルタデバイス（必要に応じて）：

設備：機械グリル、バスケットフィルター、バッグフィルターなど。

作用：大粒子懸濁物、不純物を除去し、後続ポンプと精密設備を保護する。

pH調整プール（初期調整）：

デバイス：プールボディ/タンク、ミキサー、pHオンラインモニタ、酸アルカリ添加システム（計量ポンプ、薬物貯蔵タンク、配管混合器）。

作用：廃水をpH後続の化学沈殿に適した範囲に調整する（フッ素除去によく用いられるpH 6〜8、リン除去常用pH 5〜6または9-10、特定のプロセスに基づいて決定する必要があります）。

2. 化学沈殿ユニット（コア）：

反応槽（シリーズ）：

デバイス：複数の直列プールボディ/タンク（通常は高速混合池、低速フロック凝集池に分ける）、攪拌機（高速混合パドル式/ターボ式高速攪拌、フロック用フレーム式/押付式低速撹拌）。

作用：化学薬剤を投与し、沈殿反応を起こし、フッ化カルシウム、リン酸カルシウム（ヒドロキシアパタイト）或いはその他の金属リン酸塩を形成する/フッ化物沈殿

化学添加システム：

設備：貯薬タンク（石灰乳タンク、塩化カルシウムタンク、PAC/PFSタンク、PAMタンクなど）、精密計量ポンプ（ダイヤフラムポンプ、スクリューポンプ）、配管混合器、流量計、液位計、制御システム。

常用薬剤：

フッ素除去：カルシウム塩（石灰、塩化カルシウム）生成CaF地固め沈殿アルミニウムえんPAC、硫酸アルミニウム）又は鉄塩（重合硫酸鉄PFS、三塩化鉄）リン除去と同時に一定のフッ素除去効果（フッ素アルミニウム生成/鉄錯体沈殿）。

リン除去：カルシウム塩（石灰）によるヒドロキシアパタイトの沈殿、アルミニウム塩（PAC）、鉄塩（PFS）リン酸鉄沈殿物を生成する。

凝集剤：ポリアクリルアミド（PAM、アニオンまたは非イオン）、微小フロックの凝集を促進して大粒子のアルミナ花になる。

沈殿/清澄化装置：

デバイス：

ななめいた/斜管沈殿池：浅い池の原理を利用して固液分離を加速し、構造がコンパクトである。泥かき機が必要です。

高効率沈殿池（例えばデンサデグ、アクティフロ等）：汚泥還流、微砂負荷或いは高密度沈殿技術を結合し、効率がより高く、敷地面積が小さい。コア設備は混合区、凝集区、沈殿分離区、スパチュラ、汚泥循環ポンプ（及び微砂循環システム）を含む。

清澄池：例えば機械加速清澄池。

作用：化学沈殿反応により生成されたフロック（アルミナ）を水から効果的に分離し、上清液（処理水）と底部汚泥を得る

3. デプス処理ユニット（必要に応じて選択し、目標に達していることを確認）：

かっせいアルミナ/ゼオライト吸着塔（フッ化物用）：

設備：圧力容器（吸着塔）、活性アルミナ/改質ゼオライト濾材、布水システム、逆洗浄システム（ポンプ、タンク）、再生システム（再生液タンク、ポンプ、常用NaOH の和H₂SO₄）。

作用：化学沈殿後もフッ化物が基準値を超えている場合に使用する。活性アルミナはフッ素イオンに対して強い吸着能力があり、飽和後に再生可能である。

ぎゃくしんとう/ろ過膜収容システム：

設備：保安フィルタ、高圧ポンプ、RO/NF膜エレメント、圧力容器、洗浄システム（CIP）、制御システム。

作用：化学沈殿出水に対して深さ脱塩と残留イオン（フッ素、リンを含む）の除去を行い、生産水の水質が良い。しかし、投資とランニングコストが高く、濃縮液を生成するにはさらに処理する必要がある。

イオン交換樹脂カラム（高濃度フッ化リン単独で使用することは少なく、深さ処理として使用可能）：

設備：イオン交換カラム、専用樹脂（例えばフッ素除去樹脂）、再生システム。

作用：残留フッ素、リンイオンを除去する。

4. 汚泥処理ユニット：

スラッジ濃縮池/タンク：

デバイス：プールボディ/タンク、攪拌機（オプション）、スクレーパ（重力濃縮池）。

作用：沈殿池から排出される汚泥の含水率を下げ、後続処理体積を減少する。

汚泥脱水設備：

デバイス：

板枠フィルタープレス：脱水効率が高く、泥餅の含水率が低い（到達可能60%以下）、粘細汚泥（例えば化学汚泥）、間欠運転に適用する。

ボックスフィルタ：板枠に似ている。

ベルト式フィルタープレス：連続運転、処理量は大きいが、泥餅の含水率は比較的に高い（約78-85%）。

遠心脱水機（臥螺遠心機）：連続運転、自動化程度が高く、密閉性が良いが、エネルギー消費が高く、凝集剤に対する要求が高い。

補助設備：汚泥フィードポンプ、凝集剤製造投入システム（PAM）、洗浄水ポンプ、空圧機（空気圧設備用）。

汚泥の貯蔵と処理：

設備：汚泥倉庫、輸送車両。

作用：脱水汚泥を貯蔵し、外運により安全処置（危険廃棄埋立、建材利用など）を行う。化学沈殿によるフッ素含有汚泥は通常危険廃棄物（HW32？具体的には鑑定が必要）、危険廃棄に応じて管理する必要がある。