アモイFFU層流カバー

FFU（Fan Filter Unit）はファンとフィルタの組み合わせであり、「ファン付きフィルタ装置」とも呼ばれる。

FFUは通常、クリーンルームの送風端に取り付けられ、一般的には揚重された「ドライ」ガスケット密封キールフレームに設置されている。

FFUの上の部分はファンモジュールで、下の部分はフィルタです。清浄度の要求に応じて、フィルタは異なる等級の高効率（HEPA）または超高効率（ULPA）フィルタであり、清浄室に清浄空気を提供することができる。

ファンモジュールはFFU下部の高効率フィルタの抵抗を克服するだけでなく、循環風全体のすべての通路部品の抵抗を克服し、設定された運転風速を維持しなければならない。FFUシステムは設計施工が簡便で、風速調節が柔軟で、クリーンエリアが変更しやすいなどの特徴があるため、工業クリーンルームの流行システム形式の一つとなっている。

FFUの特徴：
*：柔軟性。FFUは自力で動力を持っているので、エリアに制限されていません。こんなに大きなクリーンな工場では、必要に応じてパーティション制御ができます。また、半導体生産プロセスの変化に伴い、工場のレイアウトは必然的に調整されなければならず、FFUの柔軟性により、このような調整は容易になり、二次投資をもたらすことはありません。
第二：再利用可能性。理論的には、一時的に使用されなくなったFFUデバイスは、取り外し、密封し、適切に保管し、次の使用を保留することができます。
第三：負圧換気。これはFFUの独特な特徴です。それ自体が静圧を提供することができるので、送風静圧タンクはクリーンな工場棟に対して負圧になる。これにより、静圧タンク内の粒子が圧力の作用を受けてクリーンゾーンに漏れることがなく、シールが簡単かつ安全になる。
第四：建設周期を短縮する。FFUを使用することで、ダクトの製作と設置を省くことができます。ダクトはクリーンな工事の中で、大きな建設サイクルを占めているため、どの投資家も投資ができるだけ早く収益をもたらすことを望んでおり、FFUを選択することが可能になりました。
第五：ランニングコストを削減する。FFUを選択する際、初期投資はダクトを使用するより通風が高いが、後期運転では省エネ、メンテナンスフリーなどの特徴が際立っている。サイクルを使用してランニングコストを40%削減します。

FFUポートフォリオの主なパフォーマンスパラメータ：
モジュールサイズ（ceiling modular size）：天井キールの中心線の間隔を設置し、FFUでよく使用される標準モジュールサイズは1200 X 600（4’X 2’）、1200 X 900（4’X 3’）、1200 X 1200（4’X 4’）である。
実寸（actual size）：アモイ大吉利のFFUフィルタの実寸法＝モジュール寸法−（竜骨断面幅−25 mm）であり、ファンモジュールの実寸法はフィルタよりやや4 mm大きい。例えば、よく使われる天井竜骨端面幅は55 mm、モジュール寸法は120090600に対応するFFUフィルタの実寸法は11708750、ファンモジュールの実寸法は1174574である。
機外余圧（ESP）：ある設定風速の下で、ファンモジュールの総静圧（TSP）はHEPA/ULPAフィルタの抵抗を差し引いて、つまり機外余圧（ESP）であり、単位はPaである。ESPとはFFU全体がクリーンルーム循環風抵抗を克服できる能力を指し、FFU機外余圧またはファンモジュールの総静圧TSPを表示するにしても、送風風速または風量を指定しなければ意味がない。
入力エネルギー消費（input power consumption）：FFUの通常運転時の入力電圧と入力電流の積、単位はWである。明らかに、FFUは異なる運転モード点、すなわち異なる運転風量と総静圧時に入力エネルギー消費量が異なる。したがって、運転状況ポイントを指定しないと、エネルギー消費値を入力する意味がありません。
単体騒音（noise level）：標準的なIES-RP-CC 002によると、FFUが正常に動作しているときの吹き出し面中心直下から1.2 mmのところの騒音値は、単位がdB（A）である。FFUは、異なる運転モード点、すなわち異なる運転風量と総静圧では騒音が異なる。したがって、運転モードポイントを指定しないとノイズ値は意味がありません。
微小振動（micro vibration）：標準IES-RP-CC 002によると、FFUの*大運転モード点における振動幅と振動速度、単位はそれぞれmmとmm/sである。
送風均一性（air uniformity）：標準IES-RP-CC 002によると、FFUが正常に動作している場合には、吹き出し面から150 mm（6″）上の水平面で点ごとの風速を測定し、平均風速値を得た。平均風速と*大風速と*小風速の偏差比は送風均一度であり、単位は+/-%である。標準IES-RP-CC 002においてFFUが要求されている点のいずれかの送風風速とその平均風速との偏差は+/-20%以内であること。
フィルタ効率レベル（filter grade）：欧州規格EN 1822によると、フィルタレベルはH 10-H 14、U 15-U 17。または米国標準MIL-282（HEPA）による0.3 umの効率値、米国規格IES-RP-CC 007.1に準拠して、0.12 umの効率値について。

アモイ大吉利のFFUのファンモジュールは次のような特徴がある：
信頼性の高いパフォーマンス：国内輸出ブランドのインナーロータモータ及び直駆動遠心羽根と電気部品を採用している。
型番がそろっている：モータによる交流（AC）とブラシレス直流（EC）、出力静圧に応じて標準型と高静圧型があり、モジュールサイズによって1200 X 6000、1200 X 900、1200 X 1200、1500 X 750、箱体の材質によって亜鉛アルミニウムコーティング鋼板（標準型）、ステンレス型、アルミニウム板がある。
優れた換気均一性：国際標準IES-RP-CC-002における+/-20%の要件を達成し、それよりも優れている。
低騒音：科学的なモーターファンの選択型と回転速度設計、独特な導流と消音材料の応用、合理的な箱体サイズ設計により、アモイ大吉利FFUの騒音レベルは同類製品より低くなった。
低微細振動：総振動速度はいずれも1 mm/s未満で、振幅は4 um低エネルギー消費と低放熱量を超えず、一流のファン品質と動平衡設計、及び箱体自体のゼロ圧損により、アモイ大吉利FFUは同じ出力モードでエネルギー消費と放熱量を同類製品より低く運行させた。
柔軟な制御方法：ACタイプは、単一の独立調速機またはパケット変圧式調速機を採用することができ、アラーム指示機能を兼ねることができる。

主な技術パラメータ：

注意：当社の製品は絶えず改善されており、その中の一部の性能パラメータは予告なく修正される可能性がある

FFU集中監視システム

FFUは浄化設備として、現在、様々な浄化工事に広く応用されている。FFU集中監視システムは、数十、数百、数千個のFFUをFFU監視ホストを介して接続し、監視し、コンピュータにアップロードすることができ、コンピュータシステムが送風機のパーティション起動、故障警報、履歴などの機能を便利に実現する。コンピュータがシャットダウンすると、監視ホストは独立して24時間監視することができます。

本システムはFFUに対して電力が小さいが台数が多いため、コンピュータ集中監視を採用して操作を容易にし、システムは以下の4つの部分を含む：
・ワンドラッグ2インテリジェントユニット（容量、変圧器調圧式またはモータタップ式調速を採用）
・32ウェイハブ
・FFU制御ホスト
・コンピュータ集中監視システム
・低圧制御盤