ZJルーツ真空ポンプ

ルーツ式真空ポンプ（略称：ルーツポンプ）は、内部圧縮のない回転可変容量式真空ポンプである。2つの8字形ロータを用いてポンプハウジング内を回転させて吸気と排気作用を発生させる。その原理はルーツブロワと似ている。低圧力範囲で動作するため、ガス分子の自由行程が大きく、ガスが微小な隙間を通過する抵抗が大きいため、高い圧縮比を得ることができ、加圧真空ポンプとして使用することができる、しかし、単独で気体を直接大気中に排出することはできず、前段真空ポンプと直列に使用する必要があり、抽出された気体は前段真空ポンプを通じて大気中に排出される。

ルーツポンプの特徴は、
1.ロータとポンプキャビティ、ロータとロータの間には一定の隙間があり、互いに接触せず、油で潤滑する必要はない。
2.ロータは良好な幾何対称性を有し、回転速度を高めることができ、それによって構造がコンパクトな大抽気ポンプを製造することができる。
3.ポンプ動作時の振動が小さく、容積が大きく、容積利用係数＝0.5程度である。
4.ポンプチャンバ内で機械的真空ポンプのような圧縮現象は発生しないので、排気弁は必要ありません。そのため、凝縮性蒸気を吸引除去することができる。
5.起動が速く、短時間で極限真空に達することができる。電力が小さく、運転維持費用が低い。
6.ルーツポンプは広い圧力範囲（1000 Pa〜1 Pa）に大きな抽気速度があり、突然放出されたガスを迅速に排出でき、拡散ポンプとオイルシール機械ポンプの（1000 Pa〜1 Pa）時の抽気速度が小さい欠点を補う。そのため、過給ポンプ用として最適です。

ルーツポンプは真空冶金工業の真空脱気、真空溶融、溶鋼真空処理、及び空間シミュレーション、低密度風洞などの装置の中で腐食性ガスを抽出しないように広く使用されている。化学工業、食品、医薬、電機製造などの工業の蒸留、蒸発、乾燥などの生産過程にも用いることができる。
作動時には、吸気口からロータとポンプ本体との間に吸気口から吸気口に吸気され、ロータとポンプ本体とがガスと吸気口とを分離し、分離されたガス（図上の線部分に示すように）は、ロータが連続的に回転している間に排気口に送られる。空間は閉鎖状態にあるので、圧縮や膨張はありません。しかし、ロータのピーク部が排気口の縁に回ると、V部分の圧力は排気口の圧力よりも低いため、接続体積内の圧力を均一にするために、排気口からV領域にガスが拡散し、その拡散方向はロータの回転方向とは反対になる。ロータが再び回転すると、Vにあるガスを排気口に圧縮して排出する。このとき、ロータの他方の面が吸気口に接続されている部分はガスを吸入し、ロータが回転し続けると、上記の吸気過程を繰り返して流入してきたガスを絶えず排出する。この動作過程は、ロータ空間がある最小値から最大値に増加し、その後、最大値から最小値に減少することに相当する。これがルーツ真空ポンプの容積作用原理である。
ルーツポンプは入口圧力が低い場合に動作すると、ロータの回転速度が高いため、ロータ表面の線速度は分子の熱運動速度に近く、このときロータに衝突したガス分子はロータによって圧力の高い排気口に押し出され、プリ真空ポンプによって排除される。これがルーツ真空ポンプの分子作用原理である。

使用範囲
ZJシリーズルーツ真空ポンプは回転式変容真空ポンプであり、前段ポンプの配合が必要であり、比較的広い圧力範囲内で大きな抽気速度があり、抽気されたガス中に含まれるほこりと水蒸気に対して敏感ではなく、冶金、化学工業、食品、電子めっき膜などの業界で広く使用されている。