一、真空システム

1. 真空度

定常真空度≧0.095 MPa（**真空）

日常点検

設備の安定運転後に記録し、変動を観察する。

2.システム密封性

圧力は0.1 MPa（表圧）に上昇し、保圧は5分間、圧力降下は≦2%である

毎月/定期

プライマリシールを交換したら、必ずテストしてください。精密圧力計を使用します。

3.真空ポンプ油位/油質

油位は標準目盛範囲内（±5 mm）、油質は澄みきっており、乳化、黒ずみがない

日常点検

油位が不足している場合は直ちに追加する。油質異常は直ちに交換する。

二、フィルタシステム

1.ろ過精度

出口油粒子度テクノロジーを満たしているか契約の定め

ロット/月次検証

輸出油サンプルに対して実験室検査を行った。

2.フィルタの完全性

破損、折り畳み層の位置ずれがなく、シールリングが完全で、弾力性がある

交換時の点検

差圧アラームまたは交換期限が切れた場合は、よくチェックしなければなりません。

3.フィルタコア差圧

差圧≧0.3 MPaでアラームをトリガして自動停止

日常点検/毎月テスト

初期差圧を記録し、差圧が増加し続けることで閉塞を予告した。

三、加熱システム

1.温度制御精度

設定温度±3℃内変動、応答時間≦2分

日常点検

2.超温保護

温度≧設定値+10℃でアラームと停止

毎月のテスト

機能テストは毎月行う必要があります、ヒーターの乾きを防ぐ。

3.加熱均一性

タンク内の任意の2点温度差≦5℃

半年ごとの検証

外部高精度温度計を用いた多点測定。

四、制御システム

1・操作ロジック

プログラム/手動モード切り替え正常、ハングアップ/誤操作なし

日常点検

2・**インターロック

真空ポンプと加熱システムのインターロック、急停止ボタン1秒以内応答

毎月のテスト

**インターロックロジックのテスト：真空ポンプが起動せず、ヒーターが起動できない。

五、補助システム

1.循環ポンプ性能

揚程≧契約値95%、流量誤差≦5%

定期的な評価

システム圧力と流量計で間接的に判断する。

2.廃液収集システム

容量が基準を満たし、漏れがなく、液面警報が敏感である

日常点検

廃液を速やかに整理し、液面スイッチをテストする。

一、モータシステム

1.絶縁抵抗

冷態下、対地及び相間≧100 MΩ

年度/大修理後

絶縁抵抗試験器（メガオーム計）を使用する。

2.運転温度上昇

30 min運転を継続し、外殻温度≦80℃

日常点検/定期

赤外線温度計を用いて、温度上昇傾向に注目する。

3.振動と異音

振動速度≦2.5 mm/s、異音なし

日常点検/毎月

振動計を用いて、経験に基づいて聴診する。

二、ポンプ本体システム

1.限界真空度

デバイス設計パラメータに到達

年間パフォーマンステスト

ポンプポートを閉じて、それが達成できる*高真空をテストします。

2.漏洩率

システム漏洩率≦0.1 Pa/s（24時間試験）

年度/大修理後

閉鎖システム、単位時間当たりの圧力上昇速度を測定する。

3.振動と騒音

振動≦3.0 mm/s、騒音≦75 dB（A）

毎月/定期

振動計測定、デシベル計はポンプ本体から1メートル離れたところで測定した。

三、密封システム

1.軸シール漏れ量

油漏れ≦0.5 mL/24 h（メカニカルシール）

日常点検/定期

秤量法又は目視観察、漏れを発見するには処理が必要です。

2.シール耐圧性

1.2倍の作動圧力でテストし、可視漏れなし

シール交換後

四、冷却システム

1.冷却水流量

≥設計流量の90%

日常点検（水冷）

流量計または輸出入の温度差を観察する。

2.ラジエータ温度

≦動作温度上限（例えば90℃）

日常点検（空冷）

赤外線温度計を用いてヒートシンクを走査する。

五、制御と**

1.圧力表示精度

標準真空計と比較して、誤差±1%フルレンジ

ねんどけんさ

2.自動起動停止/アラーム

遅延応答なし、障害のシミュレーション中に正確にアラームして停止する

毎月のテスト

人為シミュレーション過負荷、超温などの故障を選択して、保護機能を検証します。

3.過負荷保護

モータが30秒間停止し、自動的に停止し、警報を鳴らす

毎月のテスト

4.非常停止ボタン

トリガ直後に動力源を切断し、遅延なし

毎月のテスト

すべての非常停止ボタンをテストします。