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メール
akiyama_huang@163.com
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電話番号
15270896115
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アドレス
深セン市龍岡区新旺路8号と健雲谷2棟1002
深セン市秋山貿易有限公司
概要
日本进口二流体喷嘴纳米喷头半导体行业用$r$n耐食性に優れ、粘性流体の微粒化塗布に最適なPEEK型$r$n二流体ノズル
製品詳細
日本輸入二流体ノズルナノノズル半導体業界用
身近な様々な電子機器で使用されている半導体。最近では、半導体の重要性がさらに高まっており、それに合わせて半導体の品質向上が必要となっている。半導体製造装置において、シリコンウエハを洗浄する半導体洗浄装置は、半導体品質の低下を招くゴミなどの異物を除去する重要な装置である。半導体洗浄装置では、純水と薬剤をシリコンウエハに吹き付ける洗浄工程において、1流体と2流体のノズルを用いることが多い。
対象物に付着した異物や汚れは、0.1℉のゴミから微量の重金属原子、炭素分子、油脂などさまざまで、中にはこれまでのスプレーでは洗浄・除去できなかったものもある。異物によっては除去しにくいものがあり、洗浄装置としての性能を十分に発揮できない。また、半導体洗浄装置の内部は、複雑で限られた空間しかなく、搭載できるノズルが限られている。そのため、本事例の顧客は、①装置に適したコンパクトな形状、②洗浄能力が高く確実に異物を除去でき、③洗浄時間が短縮できるノズルを探している。
特長
微粒化特性に優れた二流体ノズル
耐酸性、耐アルカリ性に優れたPEEK樹脂を採用
低粘度から高粘度までの微粒化噴霧が可能
重量はわずか15g
液通路径が大きく、詰まり対策に有効
専用設計品
噴霧方式は外部混合二流体ノズルになります。噴霧仕様を案内頂き設計致しますので、ぜひご利用ください。設備取り付けに合わせたノズル形状で制作が可能です。
日本輸入二流体ノズルナノノズル半導体業界用
耐食性に優れ、粘性流体の微粒化塗布に最適なPEEK型
二流体ノズル
半導体精密洗浄
じゅんすいふんむ
エッチングでの薬液使用
液晶製造装置への組込み
日本輸入二流体ノズルナノノズル半導体業界用
