プラズマ真空蒸着システム真空プラズマ蒸着機

プラズマ真空蒸着システム真空プラズマ蒸着機

高周波高圧電源を用いる一定の真空環境や特定のガス雰囲気中にプラズマを発生させる.高エネルギーイオンが材料表面に衝突することにより、表面の汚染物、不純物を除去し、表面を粗面化し、表面積を増加させる。それによって材料表面の化学的性質を変え、その親水性、接着性、耐摩耗性などの性能を高める。粘着付与剤（またはカップリング剤、粘着防止剤）を基材（シリコンシート、ガリウム砒素、ニオブ酸リチウム、ガラス、サファイア、ウエハなどの材料）表面に蒸着した後、加温反応によりシロキサンを主体とする化合物を生成することができる。基板表面を親水性から疎水性に変えることに成功し、その疎水性基はフォトレジストとよく結合し、カップリング剤の役割を果たすことができる。

プラズマ真空蒸着システム真空プラズマ蒸着機機能

電源システム発生頻度：13.56 M

電源タイプ：無線周波数電源、電力調整可能（自動整合器を含む）

電極板の層数：2層（または多層）

電極板の配置方式：水平配置/垂直配置

電極板間距離：150 mm（指定可能）

キャビティ材質：内箱に316 Lステンレス鋼を採用

温度範囲：室温-150℃

真空度：≦30 pa

真空ポンプ：オイルフリー真空ポンプ

カップリング剤：オプションの1-2路カップリング剤送液システム

ガス回路：1-5路オプション

洗浄機能：プラズマ洗浄時間、回数、電源電力など調整可能

めっきシステム：めっき時間、循環回数、めっきプロセスは編集可能

操作インタフェース：ヒューマンインタフェース/工業制御機

自動化機能：MES、GEMなどのインテリジェントシステムをオプションでオンラインにすることができる

プラズマ洗浄機は洗浄光学素子、電子素子、レーザー素子、めっき基板、チップ改善接着光学素子、光ファイバ、生物医学材料、宇宙材料などに用いられる接着剤の接着力と力により金属材料表面の酸化物を除去してガラス、プラスチック、陶磁器、高ポリマーなどの材料表面を活性化させ、その表面接着性、浸潤性、相溶性高分子材料表面修飾などを強化するために用いられる。