スイス高分解能深紫外リソグラフィ装置

PhableRは、低コストリソグラフィシステムで高解像度周期構造を露光する能力を備えている。従来の紫外線露光機と似ており、レジストを塗布したウエハをマスク版に近づけ、紫外線深紫外光を照射する。Eulithaの画期的なPHABLE露光技術により、分解能は望ましくない回折効果によって制限されなくなった。サブミクロン周期線形格子や2次元パターンなどの構造（六方晶や正方晶格子露光など）は、高い均一性と忠実度を持っている。

PhableR 100 DUVリソグラフィ機は科学研究と研究開発のための基礎的な手動機である。ナノ周期構造については、複雑なプロセスや経験を必要とせずに、大面積、均一性、繰り返し性の良い1次元、2次元ラスタ構造を作成することができます。設備とサービスの特徴：

1.設備の操作が簡単である

2.前後のプロセスと付属設備との互換性が良い

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次のような幅広い用途で使用されています。

• 学術（R&D）

• XR（AR/VR/MR）

• オプトエレクトロニクス

• 光学素子

• 生物/医学

• カラー/視覚効果

• フォトリソグラフィ技術サービス