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盛美半導体設備(上海)株式会社
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フロントトラック塗布現像装置

交渉可能更新02/15
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
盛美上海の前道塗布現像装置はArfプロセスをサポートし、将来的にはi-line、KrFなどのフォトリソグラフィプロセスに拡張でき、半導体集積回路メーカーのフォトリソグラフィプロセスの需要を満たすことができる。
製品詳細