SAPSメガ音波洗浄装置

交渉可能更新02/15

オンラインコンサルト

概要

盛美*技術——空間交流位相シフト（SAPS&trade；）技術は、メガ音波位相に伴うメガ音波洗浄装置とウエハの間隔の変化を制御することにより、メガ音波のウエハ表面における均一な分布を実現し、化された洗浄効果を達成する。

製品詳細

•深いチャネル洗浄

•CMP後洗浄

•ハードマスク堆積後の洗浄

•Contact/Viaエッチング後の洗浄

•Barrier Metal堆積前洗浄

•ウエハ回収洗浄

•EPI堆積前洗浄

•ALD堆積前洗浄

特性と仕様（Ultra C SAPS II）

最大8つのキャビティ、生産能力225 WPH

両面洗浄は、最大5種類の洗浄薬液、例えば. DHF SC1, SC2, DIO3, BOE, Solvent, HF/HNO3…

最大2種類の薬液を回収可能

統合型薬液供給モジュール

設備体積小：2.35 mx 5.53 mx 2.85 m（幅x長さx高さ）

すべてのUltra C SAPS IIデバイスの機能を持つ

最大12個のキャビティに配置でき、生産能力375 WPH

統合化学薬液供給モジュール

高温IPA乾燥に対応できる技術

設備体積：2.35 mx 6.7 mx 2.85 m（幅x長さx高さ）

類似製品推奨