湿式脱膠設備-石灰石-石膏湿式法

交渉可能更新02/15

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

盛美の半導体湿式脱膠装置は、効率的で便利なフォトレジスト（PR）ストリップ洗浄用途のために設計されている。

製品詳細

湿式脱膠設備

槽式脱膠ユニット-槽式ユニットに薬液を用いてウエハを浸漬し、この槽体は一度に複数枚のウエハを収容して生産能力を高めることができる。
モノリシック脱膠キャビティ−回転ウェハ表面に薬液を散布し、ウェハ毎のプロセスをより個別に制御する。

主なメリット

使いやすい

正確な薬液制御

タンクユニット予備浸漬プロセス

薬液のリサイクルによるコスト削減

セキュリティ構成の最適化

先進的なウエハ洗浄技術を組み合わせて

特性と仕様

8インチウェハと12インチウェハの互換性

浸漬槽体を備えている

モノリシック脱膠キャビティを備え、以下を含む：
a.最大5種類の薬液を配合して両面洗浄プロセスを行うことができる
b.最大2種類の薬液を回収できる
c.モノリシックキャビティに搭載可能な空間交流位相シフトメガ音波（SAPS）モジュール
d.高圧solvent/DIWスプレー洗浄をオプションで配合可能

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